気体をプラズマに変化させる方法として、放電が用いられます。下図(左)のように、電極から気体に強い電界をかけると、原子を構成する電子が電界に引き寄せられて原子から離れ（電離）、気体中を動けるようになり、放電が始まります。また、電極から電子が放出されやすくすることで、電極から出た電子が電界で加速され気体原子に衝突することで原子の電離が促進され、放電しやすくなります。

電界をかけて電離させやすい気体としてネオンガスがあります。また、電界をかけた電極から電子放出しやすくする方法としては、気体圧力の減圧や電極材料の工夫などがあります。

放電させる気体としてキセノンガスを用いると、プラズマ発光として真空紫外線(波長147nm, 172nm)を発生します。波長が短い真空紫外線は、蛍光体を用いることで、より長い波長の光に変換できます。