プラズマから発生する真空紫外線を励起光源として用いると、147nm以上の波長であれば蛍光体により様々な波長の光に変換することが出来ます。特に短波長領域の紫外線を発生させる場合、高い変換効率で目的とする紫外線を得ることができます。様々な発光波長の紫外線蛍光体が開発されています。

下表に紫外線発光する蛍光体の一例を示します。代表的な蛍光体は、金属酸化物（セラミック）の母体に、発光中心と呼ばれる元素を注入した組成であり、安定した材料を基にして安定な発光波長が得られます。